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发明名称 EXPOSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS618923(A) 申请公布日期 1986.01.16
申请号 JP19840130434 申请日期 1984.06.25
申请人 FUJITSU KK 发明人 KAWABATA TATSUROU
分类号 H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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