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发明名称
PURIFIER OF SEMICONDUCTOR WAFER BY PURE WATER
摘要
申请公布号
JPS617633(A)
申请公布日期
1986.01.14
申请号
JP19840128752
申请日期
1984.06.22
申请人
TOSHIBA KK
发明人
MINATO MASASHI
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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