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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11251527(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980050386 申请日期 1998.03.03
申请人 NEC CORP 发明人 NOBUSAWA HAJIME
分类号 H01L27/04;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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