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发明名称 HEAT-TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS612322(A) 申请公布日期 1986.01.08
申请号 JP19840121759 申请日期 1984.06.15
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 KIYOTA SHIYOUGO;AOYANAGI TAKASHI
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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