发明名称 UN SISTEMA PARA HACER DISPOSITIVOS FOTOVOLTAICOS
摘要 <p>SISTEMA PARA HACER DISPOSITIVOS FOTOVOLTAICOS.CONSTA DE; UNA FUENTE DE SUMINISTRO (11A) DE SUSTRATO O CONDUCTOR CONTINUO (11); UNA CAMARA (21) DE PREPARACION DE LA SUPERFICIE DEL SUSTRATO; UNA CAMARA DE DEPOSICION DE VAPOR METALICO (23) Y UNA PLURALIDAD DE CAMARAS DE DEPOSICION (28, 30, 32) DOTADAS DE, UN DISPOSITIVO DE ELECTRODO (34), UN CONDUCTO DE SUMINISTRO DE GAS (35), UN CONDUCTO DE DESGASIFICACION (36); UN GENERADOR DE RADIOFRECUENCIA (38), UNA RED DE SINTONIZACION (39), UNA PLURALIDAD DE ELEMENTOS DE CALENTAMIENTO POR CALOR RADIANTE (40) Y UNA PUESTA DE GAS (42).</p>
申请公布号 ES8600569(A1) 申请公布日期 1986.01.01
申请号 ES19840534760 申请日期 1984.07.31
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人
分类号 H01L31/04;H01L31/052;H01L31/076;H01L31/20;(IPC1-7):H01L21/36 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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