CMOS型集成流量传感器

摘要

本CMOS型集成流量传感器属于半导体集成电路领域。工业上经常需要流量计来测量气体的流量。现有的一般采用热丝装置以及双极型的半导体流量传感器，因不能将信号处理电路做在同一芯片上，所以成本高，不利于生产。本传感器为CMOS型集成流量传感器，在同一芯片上可同时集成差分放大器和信号处理电路。功耗小，性能稳定，便于大量生产。

主权项

一种测量气体流量的半导体传感器，由差分放大器及信 号处理电路组成，其特征在于将差分放大器与信号处理电路集成 在同一块芯片中，其中差分放大器采用NMOS管，信号处理电路 采用CMOS管制成。