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发明名称 PROCEDIMENTO PER LA VALUTAZIONE DEI PARAMETRI DI PROCESSO NELLA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI A SEMICONDUTTORE.
摘要
申请公布号 IT8523417(D0) 申请公布日期 1985.12.31
申请号 IT19850023417 申请日期 1985.12.31
申请人 SGS MICROELETTRONICA S. P. A. 发明人 GIUSEPPE VENTO
分类号 G01R17/02;(IPC1-7):G01R/ 主分类号 G01R17/02
代理机构 代理人
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