| 发明名称 |
APPARATUS FOR PROJECTING A SERIES OF IMAGES ONTO DIES OF A SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2121552(B) |
申请公布日期 |
1985.12.18 |
| 申请号 |
GB19820032136 |
申请日期 |
1982.05.17 |
| 申请人 |
* GENERAL SIGNAL CORPORATION |
发明人 |
RONALD S * HERSCHEL;MARTIN E * LEE |
| 分类号 |
G03B27/42;G02B13/24;G02B17/08;G03B27/32;G03B27/34;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03B27/42 |
主分类号 |
G03B27/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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