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发明名称 STRAHLKOPF ZUR REINIGUNG VON HALBLEITERTRAEGERSTREIFEN
摘要
申请公布号 DD230674(A3) 申请公布日期 1985.12.04
申请号 DD19830252706 申请日期 1983.07.04
申请人 VEB FUNKWERK ERFURT,DD 发明人 VOLLAND,LUTZ,DD;CZUDAY,HORST,DD
分类号 B24C5/04;H01L21/48;(IPC1-7):H01L21/48;H01L21/96 主分类号 B24C5/04
代理机构 代理人
主权项
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