| 发明名称 |
DRY ETCHING PROCESS FOR STRUCTURING BASE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60243284(A) |
申请公布日期 |
1985.12.03 |
| 申请号 |
JP19850093988 |
申请日期 |
1985.05.02 |
| 申请人 |
BROWN BOVERI & CIE:AG |
发明人 |
IENSU GOBUREHITO;MARUKO ROTSUSHINERI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/316 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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