| 发明名称 |
DEVICE FOR AUTOMATICALLY CHARGING SEMICONDUCTOR WAFER IN FURNACE FACILITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60235421(A) |
申请公布日期 |
1985.11.22 |
| 申请号 |
JP19850082694 |
申请日期 |
1985.04.19 |
| 申请人 |
HEREUSU KUARUTSUSHIYUMERUTSUE GMBH |
发明人 |
JIEFURII HEIWAADO |
| 分类号 |
C30B31/10;H01L21/22;H01L21/677 |
主分类号 |
C30B31/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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