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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM DOTIEREN VON HALBLEITERSUBSTRATEN
摘要
申请公布号
DE3430009(A1)
申请公布日期
1985.11.21
申请号
DE19843430009
申请日期
1984.08.16
申请人
MITEL CORP.
发明人
SZOLGYEMY,LASZLO
分类号
C30B31/06;H01L21/223;(IPC1-7):H01L21/223;C30B31/12
主分类号
C30B31/06
代理机构
代理人
主权项
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