| 摘要 |
<과제> 기판 케이스의 세정 후에 파지 핸드로부터 오염 물질이 옮겨져 기판 케이스를 오염하는 사태의 방지를 도모한다. <해결 수단> 기판을 수용하는 기판 케이스 C를 기판이 빈 상태에서 세정하는 것으로, 청정 공간을 형성하는 부스(10)를 구비하고, 부스(10) 내에, 기판 케이스 C의 각 부품을 분리한 상태로 수용하여 세정하는 세정 탱크(40, 50)를 구비하고, 기판 케이스 C의 각 부품을 파지 핸드(70)로 파지하여 세정 탱크(40, 50)에 대해서 반송을 행하는 반송 기구(60)를 구비하고, 기판 케이스 C의 세정 중에 파지 핸드(70)를 부스(10) 내의 대기 위치 Q에 대기시키고, 파지 핸드(70)를 각 부품의 세정 중에 세정하는 세정 수단(80)을 설치했다. 세정 수단(80)은 파지 핸드(70)에 대해서 가스를 분사하는 분사 노즐(81)과, 가스를 부스(10) 내로부터 배기하는 배기 팬(fan)(82)을 구비하여 구성한다. |
