| 发明名称 |
HANDHABUNGSVORRICHTUNG FUER PLAETTCHEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3510933(A1) |
申请公布日期 |
1985.11.14 |
| 申请号 |
DE19853510933 |
申请日期 |
1985.03.26 |
| 申请人 |
NANOMETRICS INC. |
发明人 |
L. TORO LIRA,GUILLERMO;M. JENSEN,EARL |
| 分类号 |
B65G47/90;B25J9/16;B25J11/00;B65G49/07;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):B65G49/06;H01J37/18;H01J37/20;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G47/90 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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