| 发明名称 |
DUAL-AXIS INTERFEROMETER MEASURING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2120401(B) |
申请公布日期 |
1985.11.13 |
| 申请号 |
GB19830012488 |
申请日期 |
1983.05.06 |
| 申请人 |
THE * GERBER SCIENTIFIC INSTRUMENT COMPANY |
发明人 |
ROBERT J * PAVONE |
| 分类号 |
G01B11/00;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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