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发明名称 POLISHING INDIUM PHOSPHIDE SURFACES
摘要
申请公布号 GB2125714(B) 申请公布日期 1985.11.06
申请号 GB19830014404 申请日期 1983.05.25
申请人 * WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUR ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 FRANZ * KOHL;ANTON * SCHNEGG;KARL * LENER
分类号 B24B1/00;C30B33/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B24B1/00 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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