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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON METALLSILIZIDSCHICHTEN DURCH ABSCHEIDUNG AUS DER GASPHASE BEI VERMINDERTEM DRUCK UND DEREN VERWENDUNG
摘要
申请公布号 DE3413064(A1) 申请公布日期 1985.10.31
申请号 DE19843413064 申请日期 1984.04.06
申请人 SIEMENS AG 发明人 HIEBER,KONRAD,DR.RER.NAT.;STOLZ,MANFRED,DIPL.-ING.;WIECZOREK,CLAUDIA,DIPL.-ING.
分类号 C23C16/42;C23C16/455;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/88;H01L23/52 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
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