| 发明名称 |
A METHOD OF PRODUCING A SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2157495(A) |
申请公布日期 |
1985.10.23 |
| 申请号 |
GB19850009363 |
申请日期 |
1985.04.12 |
| 申请人 |
* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TADASHI * HIRAO |
| 分类号 |
H01L21/033;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/76;H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/72 |
主分类号 |
H01L21/033 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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