| 发明名称 |
INSPECTING CONVEYING DEVICE OF THIN IC |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60206095(A) |
申请公布日期 |
1985.10.17 |
| 申请号 |
JP19840060834 |
申请日期 |
1984.03.30 |
| 申请人 |
HITACHI DENSHI ENGINEERING KK |
发明人 |
KAZAMA SEIJI;MANIWA TOMOYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/66;B65G37/00;H05K13/02 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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