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发明名称 Monitoring of process steps
摘要
申请公布号 GB2156520(A) 申请公布日期 1985.10.09
申请号 GB19840007900 申请日期 1984.03.27
申请人 SECRETARY OF STATE OF * TRADE & INDUSTRY 发明人 KENNETH GARFIELD * CARR-BRION;PETER JOHN * TILY;ALAN * TOWNSEND
分类号 G01H1/14;(IPC1-7):G01H1/00;G01H3/00 主分类号 G01H1/14
代理机构 代理人
主权项
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