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发明名称
박막침적, 특히 화학적 기체침적을 위한 연속 프닉타이드소오스 및 송출장치
摘要
내용 없음
申请公布号
KR850006256(A)
申请公布日期
1985.10.02
申请号
KR19840003744
申请日期
1984.06.29
申请人
null, null
发明人
마아크 앨런 쿡 (외 1)
分类号
C23C14/06;C23C14/00;C23C16/448;H01L21/203;H01L21/31
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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