发明名称 박막침적, 특히 화학적 기체침적을 위한 연속 프닉타이드소오스 및 송출장치
摘要 내용 없음
申请公布号 KR850006256(A) 申请公布日期 1985.10.02
申请号 KR19840003744 申请日期 1984.06.29
申请人 null, null 发明人 마아크 앨런 쿡 (외 1)
分类号 C23C14/06;C23C14/00;C23C16/448;H01L21/203;H01L21/31 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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