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发明名称 연속 프닉타이드 송출장치, 특히 증착을 사용하는 진공침적방법
摘要 내용 없음
申请公布号 KR850006257(A) 申请公布日期 1985.10.02
申请号 KR19840003745 申请日期 1984.06.29
申请人 null, null 发明人 로잘린 쇗터 (외 1)
分类号 C23C14/06;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/314 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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