发明名称 High current radio frequency ion source
摘要
申请公布号 US3084273(A) 申请公布日期 1963.04.02
申请号 US19610139317 申请日期 1961.09.19
申请人 ABDELAZIZ MOHAMED E 发明人 ABDELAZIZ MOHAMED E.
分类号 H01J27/16 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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