摘要 |
<p>On grave une couche isolante (4) pour lui donner la forme d'une première spirale. On grave le support (2) en utilisant la couche isolante (4) comme masque, ce qui conduit à une gorge en forme de seconde spirale complémentaire de la première. On dépose une mince couche de métal (6) sur la couche isolante (4) ayant servi de masque et, simultanément, au fond de la gorge gravée, ce qui donne naissance à deux conducteurs en forme de spirales complémentaires l'une de l'autre et situées dans deux plans différents.</p> |