| 发明名称 |
IMPROVEMENTS IN OR RELATING TO THE PROCESSING OF SILICON WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2108481(B) |
申请公布日期 |
1985.08.14 |
| 申请号 |
GB19820030512 |
申请日期 |
1982.10.26 |
| 申请人 |
* THERMO PRODUCTS CORPORATION |
发明人 |
ROBERT D * ARRASMITH;THOMAS R * BARNHART;JOHN C * GOLDMAN |
| 分类号 |
C01B33/02;H01L21/316;(IPC1-7):C01B33/149 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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