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发明名称 JET CLEANING APPARATUS AND METHOD OF TUBE MEMBER
摘要
申请公布号 JPS6034783(B2) 申请公布日期 1985.08.10
申请号 JP19760089667 申请日期 1976.07.29
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 IKEGAKI NOBU;ANEZAKI YOSHIMITSU
分类号 H01J29/48;H01J29/50 主分类号 H01J29/48
代理机构 代理人
主权项
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