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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 GB8516984(D0) 申请公布日期 1985.08.07
申请号 GB19850016984 申请日期 1985.07.04
申请人 BRITISH TELECOMMUNICATIONS PLC 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/268;H01L21/306;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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