| 发明名称 |
Device for enriching a carrier gas with the vapour of a slightly volatile material for chemical vapour deposition method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2151662(A) |
申请公布日期 |
1985.07.24 |
| 申请号 |
GB19840027276 |
申请日期 |
1984.10.29 |
| 申请人 |
N V * PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
GEORG * GARTNER;HELMUT * GROSCHE |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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