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发明名称 PERPENDICULAR CAPACITIVE MASK REGULATOR
摘要
申请公布号 JPS60137020(A) 申请公布日期 1985.07.20
申请号 JP19840212783 申请日期 1984.10.12
申请人 VARIAN ASSOC 发明人 AAMANDO PII NUUKAAMANZU
分类号 G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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