Method of manufacturing a geodesic construction element and optical integrated system comprising such an element.

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen eines geodätisch-optischen Elementes, wobei in einer Oberfläche eines Substrates asphärische rotationssymmetrische Vertiefungen gebildet werden und die Oberfläche mit den Vertiefungen mit einem planaren Wellenleiter versehen wird. Bei einem preisgünstigen Verfahren zum Erhalten von Vertiefungen mit guten Abmessungen wird das Substrat dadurch gebildet, dass ein Substratkörper mit Schichten mit variierender Ätzgeschwindigkeit versehen wird. Nach dem Maskieren des Substrates werden auf der Seite der Schichten die erforderlichen wannenförmigen Vertiefungen in dem Substrat geätzt.