| 发明名称 |
Method for depositing thin dielectric polymer films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3374111(A) |
申请公布日期 |
1968.03.19 |
| 申请号 |
US19640379151 |
申请日期 |
1964.06.30 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
BRENNEMANN ANDREW E. |
| 分类号 |
B05D1/32;B05D3/06;B05D7/24 |
主分类号 |
B05D1/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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