METHOD AND APPARATUS FOR REGENERATING AMMONIA ETCHING BATH,申请号JP19840234239-传众专利搜索

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发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR REGENERATING AMMONIA ETCHING BATH
摘要
申请公布号	JPS60116789(A)	申请公布日期	1985.06.24
申请号	JP19840234239	申请日期	1984.11.08
申请人	KERNFORSCHUNGSANLAGE JUELICH GMBH;EROOHIEMU ETSUTSUTEHINITSUKU GMBH	发明人	REANDERU FUYURUSUTO;UARUTERU HORUTSUERU
分类号	C23F1/00;C23F1/34;C23F1/46;H05K3/06	主分类号	C23F1/00
代理机构		代理人
主权项
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