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发明名称 Vorrichtung zum lonenbeschuss und zur Vakuumbedampfung von Oberflaechen
摘要
申请公布号 DE1279425(B) 申请公布日期 1968.10.03
申请号 DE196500G2767 申请日期 1965.02.05
申请人 GENERAL PRECISION, INC. 发明人 HAMILTON HAROLD JOY
分类号 C23C14/02;C23C14/22;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/58;C23G5/00;H01J37/305;H01J37/36 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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