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发明名称 CART FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS60107450(A) 申请公布日期 1985.06.12
申请号 JP19830213518 申请日期 1983.11.14
申请人 TOSHIBA KK 发明人 SATOU MITSUO
分类号 H01L21/677;B61B13/00;B61D27/00;H01L21/02 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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