| 发明名称 |
CYLINDRICAL MAGNETRON SPUTTERING CATHODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0045822(B1) |
申请公布日期 |
1985.05.29 |
| 申请号 |
EP19800200753 |
申请日期 |
1980.08.08 |
| 申请人 |
BATTELLE DEVELOPMENT CORPORATION |
发明人 |
ZEGA, BOGDAN |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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