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发明名称 METHOD FOR SIMS ECAMINATION OF DIFFERENT SUBSTANCES USING SCANNING PRIMER ATOMIC RAY AND APPARATUS FOR CARRYING OUT THEREOF
摘要
申请公布号 HUT35096(A) 申请公布日期 1985.05.28
申请号 HU19830002704 申请日期 1983.07.29
申请人 BUDAPESTI MUESZAKI EGYETEM,HU 发明人 BEHRINGER,TIBOR,HU;HARS,GYOERGY,HU;MARTON,DENES,HU;GIBER,JANOS,HU;BALINT,JOZSEF,HU;FABIAN,ISTVAN,HU;MAKO,MARGIT,HU
分类号 G01N23/22;H01J37/256;(IPC1-7):G01N23/22 主分类号 G01N23/22
代理机构 代理人
主权项
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