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<p>Zur Ermittlung des Fokussierungszustandes eines abbildenden optischen Gerätes, wie eines Licht- oder Elektronenmikroskops, wird bei der Abbildung ein axialer Astigmatismus vorgegebener Orientierung eingeführt und es wird die Autokorrelationsfunktion des entstehenden Bildes, vorzugsweise mittels eines optischen Korrelators, gebildet. Die Autokorrelationsfunktion eines mit axialem Astigmatismus behafteten Bildes hat außerhalb der Fokusebene die Form eines ellipsenartigen Striches, dessen Orientierung davon abhängt, ob sich das Bild vor oder hinter der Fokusebene befindet. Aufgrund der Orientierung des die Autokorrelationsfunktion darstellenden Striches läßt sich daher feststellen, ob das Bild unterfokussiert oder überfokussiert ist.</p> |
