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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE WITH AN INTERCONNECTION ELECTRODE LAYER
摘要
申请公布号 EP0050972(B1) 申请公布日期 1985.05.22
申请号 EP19810305009 申请日期 1981.10.23
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 SHIMA, SHOHEI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/88;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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