Transducer element, method for its manufacture and its use in a pressure pick-up device.

摘要

Ein piezoresistives Wandlerelement zum Einbau in Druckaufnehmer umfasst eine einen Membranbereich aufweisende Platte (1) vorzugsweise aus Silizium mit eindiffundierten Piezowiderständen, eine isolierende Platte (2) aus einem Glasmaterial und eine Basisplatte (3).Die Platten sind vorzugsweise durch anodische Verbindungen in der erwähnten Reihenfolge miteinander verbunden. Die Basisplatte (3) besteht aus einem Material mit im wesentlichen dem gleichen Temperaturausdehnungskoeffizienten wie das Material für die den Membranbereich aufweisende Platte (1). Ferner ist die Abmessung der Basisplatte (3) auf die Platte (1) abgestimmt. Durch diese beiden Massnahmen wird erreicht, dass die bei Temperaturänderung von beiden Platten (1, 3) auf die isolierende Platte (2) ausgeübten Verformungskräfte im wesentlichen gleich gross sind und damit eine geringstmögliche Verwerfung der Membranplatte (1) bewirken. Damit wird ein symmetrisches Wandlerelement geschaffen, dass im Betrieb geringste Nullpunktverschiebungen und Empfindlichkeitsänderungen aufweist. Mit solchen piezoresistiven Wandlerelementen ausgestattete Druckaufnehmer zeichen sich daher durch hohe Messgenauigkeit aus, insbesondere in Kombination mit einer verbesserten dehnungselastischen Befestigung der das Wandlerelement tragenden Halterung (7) im Aufnehmergehäuse.