| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN VON SIO2-FILMEN MITTELS CHEMISCHEN NIEDERSCHLAGENS AUS DER DAMPFPHASE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT13076(T) |
申请公布日期 |
1985.05.15 |
| 申请号 |
AT19800104212T |
申请日期 |
1980.07.18 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
KEMLAGE, BERNARD MICHAEL |
| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/34 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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