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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6015149(Y2)
申请公布日期
1985.05.14
申请号
JP19790004048U
申请日期
1979.01.17
申请人
发明人
分类号
G01J1/02;G01J1/28;G01J5/02;G01J5/34;H01L31/0264;H01L31/08;(IPC1-7):G01J5/02
主分类号
G01J1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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