发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
US3519479(A) |
申请公布日期 |
1970.07.07 |
申请号 |
USD3519479 |
申请日期 |
1966.12.06 |
申请人 |
MATSUSHITA DENSHI KOGYO KK. |
发明人 |
MORIO INOUE;GOTA KANO;JINICHI MATSUNO;SHIGETOSHI TAKAYANAGI |
分类号 |
C23C16/14;C23C16/16;H01L21/00;H01L27/00;H01L29/00;(IPC1-7):H01L7/00;H01L7/36 |
主分类号 |
C23C16/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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