发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 US3519479(A) 申请公布日期 1970.07.07
申请号 USD3519479 申请日期 1966.12.06
申请人 MATSUSHITA DENSHI KOGYO KK. 发明人 MORIO INOUE;GOTA KANO;JINICHI MATSUNO;SHIGETOSHI TAKAYANAGI
分类号 C23C16/14;C23C16/16;H01L21/00;H01L27/00;H01L29/00;(IPC1-7):H01L7/00;H01L7/36 主分类号 C23C16/14
代理机构 代理人
主权项
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