| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUM DURCH PYROLYTISCHEN ABBAU VON POLYCHLORSILAN-VORLAEUFERN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH649069(A5) |
申请公布日期 |
1985.04.30 |
| 申请号 |
CH19810004407 |
申请日期 |
1981.07.03 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORPORATION |
发明人 |
GAUL, JOHN HENRY, JUN.;WEYENBERG, DONALD RICHARD |
| 分类号 |
C01B33/02;C01B33/021;C01B33/027;C01B33/107;C23C16/24;C23C20/04;H01L31/04;(IPC1-7):C01B33/02 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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