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发明名称 IMMERSIONSOBJEKTIV FUER DIE SCHRITTWEISE PROJEKTIONSABBILDUNG EINER MASKENSTRUKTUR
摘要
申请公布号 DD221563(A1) 申请公布日期 1985.04.24
申请号 DD19830254806 申请日期 1983.09.14
申请人 VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 PFORR,RAINER,DD;WESTPHAL,PETER,DD;STENZEL,ROLF,DD
分类号 G02B1/06;G03F7/20;(IPC1-7):G02B1/06 主分类号 G02B1/06
代理机构 代理人
主权项
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