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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6072272(A) 申请公布日期 1985.04.24
申请号 JP19830179551 申请日期 1983.09.28
申请人 TOSHIBA KK 发明人 TSUNASHIMA YOSHITAKA
分类号 H01L21/265;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/45;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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