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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6054331(U) 申请公布日期 1985.04.16
申请号 JP19830147290U 申请日期 1983.09.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/52;H01L21/58;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
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