发明名称 APPAREIL POUR FORMER UNE COUCHE SOLIDE D'OXYDE ET/OU DE NITRURE SUR LA SURFACE D'UN ARTICLE.
摘要
申请公布号 CH648977(A5) 申请公布日期 1985.04.15
申请号 CH19840000985 申请日期 1980.04.24
申请人 OPTICAL COATING LABORATORY, INC. 发明人 GUREV, HAROLD SAMUEL
分类号 B05B7/22;B01J19/08;B05D1/08;C23C14/00;C23C14/32;C23C16/507;H01L31/0216;H01L31/04;H01L31/18;(IPC1-7):H05H1/42;C23C4/00 主分类号 B05B7/22
代理机构 代理人
主权项
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