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经营范围
发明名称
CHECKING MICROMASKS
摘要
申请公布号
GB2089504(B)
申请公布日期
1985.04.11
申请号
GB19810037347
申请日期
1981.12.10
申请人
WESTERBERG GERHARD
发明人
分类号
G01N21/956;G03F1/00;(IPC1-7):G01N21/88
主分类号
G01N21/956
代理机构
代理人
主权项
地址
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