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发明名称 DEVICE FOR DETECTING DEFFECTS ON SURFACE OF SEMICONDUCTOR INSTRUMENTS
摘要
申请公布号 SU630983(A1) 申请公布日期 1985.03.23
申请号 SU19772455479 申请日期 1977.02.23
申请人 AMAZASIYAN V.N.,SU;SARKISYAN V.S.,SU;GORYUNOV N.N.,SU 发明人 AMAZASIYAN V.N.,SU;SARKISYAN V.S.,SU;GORYUNOV N.N.,SU
分类号 G01N21/88;G01N21/27;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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