发明名称 METHOD OF PRODUCING INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6052048(A) 申请公布日期 1985.03.23
申请号 JP19840131208 申请日期 1984.06.27
申请人 TELETYPE CORP 发明人 REIMONDO AARU KURISUCHIYAN;HARII SUU;HAABAADO EE WAGUNAA;JIYOSEFU SHII ZAACHIYAA
分类号 H01L21/02;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/48;H01L21/52;H01L21/58;H01L21/60;H01L21/78;H01L21/822;H01L23/14;H01L23/482;H01L27/04;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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