发明名称 |
METHOD OF PRODUCING INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6052048(A) |
申请公布日期 |
1985.03.23 |
申请号 |
JP19840131208 |
申请日期 |
1984.06.27 |
申请人 |
TELETYPE CORP |
发明人 |
REIMONDO AARU KURISUCHIYAN;HARII SUU;HAABAADO EE WAGUNAA;JIYOSEFU SHII ZAACHIYAA |
分类号 |
H01L21/02;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/48;H01L21/52;H01L21/58;H01L21/60;H01L21/78;H01L21/822;H01L23/14;H01L23/482;H01L27/04;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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